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氮化硅是一種重要的新型結構陶瓷材料，強度高，尤其是熱壓氮化硅，是世界上最堅硬的物質之一。氮化硅極耐高溫，可以在1200℃高溫下保持強度不下降，直到1900℃才會分解，且具有驚人的耐化學腐蝕性能，能耐幾乎所有的無機酸和30%以下的燒堿溶液，同時又是一種高性能電絕緣材料。

氮化硅高密度、超硬度、潤滑性、耐磨損、耐腐蝕、耐高溫和不易傳熱的優點，使其廣泛應用于軸承、氣輪機葉片、永久性模、陶瓷密封環等機械構件及熱電偶管、火箭噴嘴、熔解金屬的坩堝等高溫零部件的制造。

但是氮化硅中陰離子雜質尤其是鹵素會對相關接觸部件造成嚴重腐蝕，從而影響構件的機械強度和密封環的密封效果，因此對氮化硅中陰離子雜質的準確測定具有重要意義。

采用盛瀚CIC-D150智能型離子色譜儀，使用SH-AC-11色譜柱可以測定氮化硅中的陰離子。

稱取約1g的樣品（粉末樣品），記錄質量（精確至0.001g），加入100mL超純水，超聲提取30min，靜置，取上清液過0.22μm濾膜進樣分析；取100mL超純水同等條件下處理，過0.22μm濾膜進樣分析作為對照組。

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盛瀚CIC-D150型離子色譜儀定位于智能化，實現了手機APP遠程操控、定時開機預熱，智能大屏實時顯示儀器參數和運行狀態，一鍵智能維護等功能，使用更加便捷大大提高了實驗室生產力和用戶體驗。

D150具有高精度、可靠的分析能力，無需設置量程，輕松實現100ppb-100ppm濃度樣品的同時測定，設置微型氣液分離器，可將淋洗液中的氣泡進行分離。

樣品1譜圖

樣品2譜圖

注意事項

實驗過程中易受到污染，要求實驗人員嚴格按照操作規程操作。

可行性分析及結論

通過上述實驗證明，該檢測方法分離度良好，適用于樣品中待測組分含量的測定。